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半導體行業(yè)用ekkeagle磁流體密封件介紹
利用磁性流體沿著磁鐵的磁力線接近的特性,它是一種通過將流體保持在旋轉(zhuǎn)軸的密封部分來主要阻擋大氣和真空的密封。 它用于半導體制造設備和平板顯示器制造設備的真空密封,以及用于輸送的機器人軸承的防塵密封。
磁流體密封中最重要的磁性流體由三個主要成分組成:(1)磁性顆粒,(2)表面活性劑和(3)基礎流體。 所有這些都是在NOK集團內(nèi)部開發(fā)和制造的,我們通過我們的分散技術(shù),表面活性劑調(diào)節(jié)技術(shù)和超低蒸氣壓油制造技術(shù),使用其他公司沒有的優(yōu)質(zhì)流體提供磁性流體密封件。
1.磁流體密封原理
(1)它是通過干預流體阻塞大氣和真空(或大氣)的密封。
(2)由于密封部分沒有滑動點,因此不會因磨損而產(chǎn)生異物,并且密封件扭矩低。
2. 磁性流體密封件的特點
(1) 磁性細顆粒、(<>) 表面活性劑和 (<>) 基礎液都是 NOK 集團內(nèi)磁性流體的組成部分。
開發(fā)和制造。
(2)由于它是由磁性流體的成分制成的,因此實現(xiàn)了其他公司無法達到的高溫特性和低蒸氣壓特性。
a.我們可以處理高達220°C的環(huán)境溫度。 〔E-01Pa〕
b. 它可以處理高達E-09Pa或更低(室溫)而無需操作排氣。
(3)多軸如同軸2軸和3軸,每個軸可以獨立旋轉(zhuǎn)。