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適用于60系列 半導(dǎo)體工藝產(chǎn)品特點(diǎn)分析
介紹Flowel株式會(huì)社的各種產(chǎn)品,包括多年來受到半導(dǎo)體行業(yè)和其他行業(yè)好評(píng)的“氟樹脂接頭"。
可提供專用夾具
?高性能擴(kuò)口型接頭
?優(yōu)異的液體置換特性
?用途:涂布機(jī)、顯影機(jī)
采用國內(nèi)的喇叭形密封方式。本體和螺母形狀均具有的結(jié)構(gòu),接近地滿足客戶的要求:清潔安全、不積液、不泄漏、無需重新擰緊,性能配備。非常適合防止 CMP 漿料結(jié)塊、光刻膠起泡和膠凝以及蝕刻和剝離溶液泄漏。
擴(kuò)管時(shí)需要特殊工具。有兩種施工方法:“冷"和“熱"。
?冷喇叭口:在室溫下執(zhí)行的安裝方法(杠桿式)
?熱喇叭口:在加熱條件下執(zhí)行的安裝方法(杠桿式、手持式)
“專用工具"有兩種類型:
?杠桿式:杠桿式夾具將杠桿原理應(yīng)用于擴(kuò)口管,因此任何人都可以輕松且均勻地?cái)U(kuò)口管。
?手持式:熱火炬施工專用的手持式夾具。用熱風(fēng)槍加熱管子,使管子張開。
適用于管道長度較短和工作區(qū)域較少的情況。