半導體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調節(jié)器介紹
發(fā)布時間:2024-03-29 點擊量:341
半導體特殊材料氣體、高純/超高純載氣壓力調節(jié)器介紹
Excellent Mega系列EX-M-20、EX-M-100(電解拋光品) | 一次壓力:20.0MPa以下/調整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣) | He泄漏值:5X10 -11 Pa·m3/秒以下 |
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?EX-M-20 | |
| ?EX-M-100 | |
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Mark II系列 EX-20mkⅡ-G1、G2/EX-100mkⅡ-G1、G2 | 一次壓力:20.0MPa以下/調整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣) | He泄漏值:1X10 -9/-8 Pa·m3/秒以下 |
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?EX-20mkⅡ | |
| ?EX-100mkⅡ | |
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TD系列EX-20-TD、EX-100-TD(適用于腐蝕性氣體,特殊內涂層) | 一次壓力:20.0MPa以下/調整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣) | He泄漏值:1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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?EX-20-TD | |
| ?EX-100-TD | |
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優(yōu)秀 PM 系列 EX-20-PM、EX-100-PM(僅限面板安裝型號) | 一次壓力:20.0MPa以下/調整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?、150?/min?空氣) | He泄漏值:1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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?EX-20-PM | |
| ?EX-100-PM | |
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Excellent Mega VC系列EX-M-20-VC(電解拋光品/主體連接部分VCR1/4加工) | 一次壓力:20.0MPa以下/調整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?/min?空氣) | He泄漏值:5X10 -11 Pa·m3/秒以下 |
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?EX-M-20-VC | |
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Excellent Mark II/VC系列EX-20-VC(主體連接部分VCR1/4加工) | 一次壓力:20.0MPa以下/調整壓力0.1~1.0MPa、最大流量:50?/min?空氣) | He泄漏值:1X10 -9 Pa·m3/秒以下 |
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?EX-20-VC | |
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